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关于镍铝合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

镍铝合金靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)工艺的材料,主要用于制造各种薄膜和涂层。这种靶材主要由镍和铝两种金属元素组成,纯度可以达到3N5(99.95%),规格通常是平面靶材,具有优异的耐腐蚀性、耐磨性和高温性能。镍铝合金靶材被广泛应用于CD-ROM、装饰、半导体、显示器、LED、光伏器件、功能性涂层以及其他光学信息存储空间行业,汽车玻璃和建筑玻璃等玻璃涂层行业,以及光通信等领域。

镍铝合金靶材


镍铝合金靶材特征
镍铝合金靶材形状:平面靶 异型定制
镍铝合金靶材纯度:2N5,4N
镍铝合金靶材尺寸:按图纸加工或者定制
我们还可以提供镍铝合金颗粒、镍铝合金粉末,镍铝合金棒。

镍铝合金靶材制备方法
(1)、将镍粉和铝粉按照质量比例混合均匀,其中铝的质量百分比为1.8~2.2%,其余为镍以及不可避免的杂质。将全部铝粉与一部分镍粉按照质量比1:(0.9~1.1)进行一次混合得到母粉,再将所述母粉与余量镍粉进行二次混合得到镍铝合金粉末;
(2)、将镍铝合金粉末装入模具,采用人工压柱方式进行压实处理,保证平面度<1mm,并封口;
(3)、将封口后的模具放入热压烧结炉中,抽真空至100Pa以下,先升温至550~600℃并保温0.8~1.2h,然后升温至900~1000℃并保温1~1.5h,随后升温至1100~1250℃并保温1~1.5h,后加压至25~35MPa并保温保压1~3h,进行热压烧结处理,得到镍铝合金溅射靶材粗品;
(4)、将得到的镍铝合金溅射靶材粗品进行机加工,得到镍铝合金溅射靶材。


镍铝合金靶材成分表


上图是镍铝合金靶材的成分分析表


镍铝合金靶材应用
半导体行业:在半导体设备制造中,镍铝合金靶材被广泛用于形成各种导电和阻挡层。通过磁控溅射技术,可以在硅片上沉积高质量的镍铝合金薄膜,从而实现金属互连和阻挡层的有效构造。
光学镀膜:镍铝合金靶材在光学领域用于制造各类反射镜和光学滤光片。通过控制溅射参数,可以获得不同光学常数的薄膜,实现特定的光线反射和透过效果。
平板显:在平板显示器制造中,镍铝合金靶材用于形成导电层和像素电极。通过溅射技术,实现高分辨率和高亮度的显示效果。
太阳能电池:在太阳能电池中,使用镍铝合金靶材制备的薄膜作为电极或反光层,可以有效提升电池的光电转换效率。这主要得益于其优异的电性能和光热稳定性。

镍铝合金应用
航空航天:镍铝合金,特别是含有铝和钛的镍基高温合金,如Inconel 718,因其出色的耐高温和抗腐蚀性能,被广泛应用于航空航天领域,用于制造涡轮发动机叶片和盘体,火箭发动机部件等。
能源产业:在核反应堆内部结构和高温高压下的石油开采设备中,镍铝合金因其优异的耐腐蚀性和高温稳定性而得到应用。
汽车行业:用于制造高性能的发动机部件,如涡轮增压器,这些部件需要在高温和高压条件下工作。
化工和石油化工:在反应器、换热器和管道中,特别是在那些需要耐高温和抗腐蚀的环境,镍铝合金因其良好的耐腐蚀性和高温性能而得到应用


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