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关于镍钒合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

镍钒合金靶材是一种用于溅射镀膜工艺的材料,它由镍和钒合金化制成。镍钒合金靶材因其无磁性特性,特别适合于磁控溅射技术。通过这种技术,可以一次完成溅射镍层(粘接层)和钒层(阻挡层),简化了制造过程。


镍钒靶材


镍钒靶材特征

镍钒靶材形状:平面靶、异型定制

镍钒靶材纯度:3N5

镍钒靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供镍钒合金颗粒、镍钒合金片,镍钒合金棒。


镍钒合金靶材制备工艺

将镍钒铸锭进行热锻造。热段前保温温度为900-1300℃,热锻造保温时间为1-4h。出炉后将镍钒铸锭沿轴向墩粗拔长3次以上,锻造完成后空冷;

将锻造所得镍钒胚料进行退火,退火温度为800-1000℃,退火时间为1-2h;

将退火后的镍钒坯料进行轧制变形,总冷变形率为65-90%:冷变形方式包括轧制或墩粗后轧制,其中轧制的道次变形量为7-15%;

将变形后的镍钒坯料进行二次退火,退火温度为650-950℃,退火时间为1-3h。

此次制备得到的镍钒溅射靶材的晶粒度≤150um,晶粒细小,分布均匀。


镍钒靶材成分表

上图是镍钒合金靶材的成分分析表


镍钒合金靶材材应用

集成电路:在集成电路制作中,镍钒溅射靶材可一次完成溅射镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)的制备,替代纯镍溅射靶材;

显示器:可用于平板显示器镀膜,提高显示器的性能;

太阳能行业:应用于太阳薄膜电池,有助于提高太阳能电池的效率;

建筑玻璃:用于大型建筑玻璃、汽车玻璃及其他特殊领域玻璃的镀膜。


镍钒合金其他应用

弹性合金:镍钒合金因其高弹性而被用于制作弹簧和精密仪器中的弹性元件。

耐热合金:镍钒合金具有良好的耐热性和抗氧化性,适用于制作涡轮发动机部件、燃烧室、喷嘴和高温下使用的其他部件。

制造业:在各种制造业中,镍钒合金被用于制作模具和模芯,因为它们在高温下仍能保持高强度和尺寸稳定性。


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