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关于镍铁合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

镍铁合金靶材是一种由镍和铁两种金属组成的靶材材料。镍铁合金靶材通常具有良好的物理和化学性能。在物理性质方面,它具备一定的硬度、强度和良好的导电性、导热性。在化学性质上,它表现出较好的耐腐蚀性和抗氧化性。这种靶材常用于薄膜沉积工艺,例如磁控溅射等,以在基底表面形成镍铁合金薄膜。镍铁合金薄膜在电子、半导体、磁性材料等领域有着广泛的应用。


镍铁合金靶材


镍铁靶材特征

镍铁靶材形状:平面靶、异型定制

镍铁靶材纯度:3N5

镍铁靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供镍铁合金颗粒、镍铁合金片,镍铁合金棒。


镍铁合金靶材制备工艺

对镍铁合金铸锭进行热锻开坯,加热温度为900-1300℃。消除铸态组织,焊合铸造缺陷,得到所需形状的坯料;

将热锻后的坏料进行冷轧,轧制时的道次变形量为5%-30%,总变形量为30-99%,轧制方向可根据靶材形状采用单向轧制或交叉轧制;

对坏料进行多次轧制,两次冷轧之间需进行中间热处理,热处理温度为600-1000℃,消除加工硬化;

对终轧后的坯料进行再结晶热处理,结晶热处理温度为700-1100℃,使组织发生完全再结品;

对再结晶热处理后的坯料进行变形,变形量为5-15%轧制变形;

将坯料加工成所需规格,得到镍铁合金溅射靶材。


镍铁合金靶材成分材质单


上图是镍铁合金靶材的成分分析表


镍铁合金靶材材应用

电子领域:用于制造集成电路中的薄膜电阻、磁性存储器件的磁性薄膜等,以改善电子元件的性能和稳定性。

半导体行业:在半导体制造过程中,可用于沉积薄膜,起到导电、阻挡、扩散阻挡等作用,有助于提高芯片的性能和可靠性。

磁性材料:制备磁性薄膜,应用于磁传感器、磁记录介质等,例如硬盘的磁头和磁带。

薄膜太阳能电池:用于制备太阳能电池的导电层,有助于提高电池的光电转换效率和稳定性。

表面涂层:为工件表面提供耐磨、耐腐蚀和装饰性的涂层,增强其使用寿命和外观。

平板显示器:用于制造平板显示器中的导电层和电极等部件。


镍铁合金其他应用

不锈钢和合金生产:镍铁是不锈钢生产中的重要原料之一,镍的添加可以提高合金的抗腐蚀性和其他性能。

电磁应用:镍铁合金具有高磁导率和低矫顽力,适用于电磁透镜的极件、变压器、传感器、磁记录读出磁头等。

航空航天:钴铬铁镍合金靶材在航空航天领域用于制造发动机和结构组件,因其耐高温、抗腐蚀和良好的机械性能。


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